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        解決方案 >> 藍寶石和碳化硅品質提升解決方案
        • 晶體表面油污檢測及處理方案
        • 晶體表面油污檢測及處理方案
          					晶片表面有油污,很難以檢測到,即便用KLA也難以判斷,這主要是有檢測原理決定的。有污染的晶片若被應用的外延,就會嚴重影響到LED的品質,使成品率下降。所以,如果要排除污染,就必須有一個專業的設備進行探測與判斷。
        • 平整度檢測方案
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          					平整度是晶片很重要的參數,直接決定了片子合格與否,檢測平整度的方法很多,但目前看來國際還是依托于SEMI標準。參數的定義,檢測的精度都是需要認真考慮的。
        • 藍寶石與碳化硅腐蝕方案
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          					腐蝕工藝直接決定了檢測位錯的結果,關鍵的一點可能會讓您少走很多的彎路,敬請關注。
        • 藍寶石光學等級評估
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          					光學晶體等級一般分六級,如何進行評估,怎么評估?這不光需要專業的檢測設備,還有就是一線檢測經驗。
        • 碳化硅工藝流程及檢測方案
        • 碳化硅工藝流程及檢測方案
          					碳化硅工藝流程及檢測方案
        • 藍寶石整體檢測方案
        • 藍寶石整體檢測方案
          					工藝流程及涉及的檢測設備
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